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Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統，能夠為許多晶元處理應用提供濃度高達 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統雖然使用緊湊型設計，卻是一個完整的臭氧輸送系統，包含：高濃度臭氧發生器、高濃度臭氧監測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調節器和氣動裝置。Mini ODS能夠拓展支持額外的獨立流程臭氧發生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護簡單，不需求消耗品或預防性維護。該系統也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監分析儀交互。為了更加安全，該系統也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統聯鎖。
規格
規格
系統 ：Mini ODS
完整并可立即使用的臭氧輸送系統
臭氧濃度 ：超過320 g/Nm3 或 21.0% w/w
臭氧流量 ：1 slpm最優 (可選其他流量)
臭氧出口壓力 ：15 到 40 PSIG (通常設置為 30 PSIG)
環境溫度 ：5-35°C
氣源 ：氧氣 級別6或更高
氮氣 ：級別5或更高(只用于摻雜)
冷卻用水 ：溫度 17 到 20°C
流量 ：根據配置
設定值控制器 ：自動伺服回路控制
用戶可編程的設定值
- 發生器功率
- 氣體流量
- O3濃度
(最多同時且獨立的控制兩臺O3發生 器)
分析儀 ：紫外臭氧濃度分析儀 (紫外溶解臭氧濃度分析儀 可選)
氣體流量控制器 ：包含氧氣和氮氣的質量流量計
調節器 ：包含背壓調節器
顯示 ：2 行 x 40 字母，VFD
模擬 I/O ：1x 模擬輸出, 0-5VDC
1x 模擬輸入, 0-5VDC
數字 I/O ：RS-232C, 雙向
2x 數字輸入
2x 數字輸出
電源 ：208 到 240 VAC, 1θ 或 3θ
尺寸 ：19” x 13.7” x 18” (寬 x 高 x 長) (48 cm x 35 cm x 46 cm)
認證 ：CE
保修 ：1 年
特征
設計緊湊
生成濃度超過21% w/w的臭氧
19” 機架固定或放置在桌面
價格低/無耗材
完整整合的產品包括:
- 高純度臭氧發生器
- 高濃度臭氧分析儀
- 閉環伺服控制器
- 氧氣質量流量計
- 氮氣質量流量計
- 背壓調節器
- 電-氣分流閥
應用
化學氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
顆粒清潔
光刻膠去除
灰化
系統選項
臭氧破壞器
溶解臭氧分析儀
臭氧安全分析儀
可拓展控制額外的臭氧分析儀
