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                              MINI-ODS小型臭氧傳輸系統

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                              小型臭氧傳輸系統

                              產品時間:2020-11-24 18:09

                              簡要描述:

                              Mini ODS 是緊湊但完整的臭氧輸送系統,能夠為許多晶元處理應用提供濃度高達 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統雖然使用緊湊型設計,卻是一個完整的臭氧輸送系統,包含:高濃度臭氧發生...

                              詳細介紹
                              Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統,能夠為許多晶元處理應用提供濃度高達 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統雖然使用緊湊型設計,卻是一個完整的臭氧輸送系統,包含:高濃度臭氧發生器、高濃度臭氧監測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調節器和氣動裝置。Mini ODS能夠拓展支持額外的獨立流程臭氧發生器,這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護簡單,不需求消耗品或預防性維護。該系統也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監分析儀交互。為了更加安全,該系統也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統聯鎖。

                              規格
                              系統 :Mini ODS 
                                         完整并可立即使用的臭氧輸送系統 
                              臭氧濃度 :超過320 g/Nm3 或 21.0% w/w 
                              臭氧流量 :1 slpm最優 (可選其他流量) 
                              臭氧出口壓力 :15 到 40 PSIG (通常設置為 30 PSIG) 
                              環境溫度 :5-35°C 
                              氣源 :氧氣 級別6或更高 
                              氮氣 :級別5或更高(只用于摻雜) 
                              冷卻用水 :溫度 17 到 20°C 
                              流量 :根據配置 
                              設定值控制器 :自動伺服回路控制 
                                                       用戶可編程的設定值 
                                                        - 發生器功率 
                                                        - 氣體流量 
                                                         - O3濃度 
                                                        (最多同時且獨立的控制兩臺O3發生 器) 
                              分析儀 :紫外臭氧濃度分析儀 (紫外溶解臭氧濃度分析儀 可選) 
                              氣體流量控制器 :包含氧氣和氮氣的質量流量計 
                              調節器 :包含背壓調節器 
                              顯示 :2 行 x 40 字母,VFD 
                              模擬 I/O :1x 模擬輸出, 0-5VDC 
                                                1x 模擬輸入, 0-5VDC 
                              數字 I/O :RS-232C, 雙向 
                                               2x 數字輸入 
                                                2x 數字輸出 
                              電源 :208 到 240 VAC, 1θ 或 3θ 
                              尺寸 :19” x 13.7” x 18” (寬 x 高 x 長)  (48 cm x 35 cm x 46 cm) 
                              認證 :CE 
                              保修 :1 年

                              特征
                               
                              設計緊湊
                              生成濃度超過21% w/w的臭氧
                              19” 機架固定或放置在桌面
                              價格低/無耗材
                              完整整合的產品包括:
                              - 高純度臭氧發生器
                              - 高濃度臭氧分析儀
                              - 閉環伺服控制器
                              - 氧氣質量流量計
                              - 氮氣質量流量計
                              - 背壓調節器
                              - 電-氣分流閥

                              應用
                               
                              化學氣相沉積 (CVD)
                              原子層沉積 (ALD)
                              氧化物生長
                              表面處理
                              顆粒清潔
                              光刻膠去除
                              灰化

                              系統選項
                               
                              臭氧破壞器
                              溶解臭氧分析儀
                              臭氧安全分析儀
                              可拓展控制額外的臭氧分析儀

                               


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