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                              ODS臭氧傳輸系統

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                              臭氧傳輸系統

                              產品時間:2020-11-24 18:31

                              簡要描述:

                              ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合完全,操作簡單,能夠...

                              詳細介紹
                              ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求最高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合完全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動,插入即可使用。該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。

                              規格

                              特征
                               
                              高純度水冷臭氧發生器,濃度最高達
                              350 g/Nm3
                              最先進的高濃度監測儀
                              使用質量流量計監測和控制臭氧和
                              進氣
                              完整的安全聯鎖和EMO系統
                              最多支持四個獨立的伺服控制回路
                              19英寸柜機式外殼,頂端帶有排氣系
                              統,底端配有輪子

                              應用
                              化學氣相沉積 (CVD)
                              原子層沉積 (ALD)
                              氧化物生長
                              表面處理
                              顆粒清潔
                              光刻膠去除
                              灰化

                               


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